濱松微光顯微鏡（EMMI，又稱PEM，Photon Emission Microscope，光發(fā)射顯微鏡）的原理主要基于半導體器件在失效或缺陷狀態(tài)下會發(fā)出微量光子的現(xiàn)象。以下是對其原理的詳細解釋：
濱松微光顯微鏡不僅具有故障點定位、尋找亮點和熱點的功能，還廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
此外，濱松微光顯微鏡還可以與光束誘導電阻變化（OBIRCH）功能集成在一個檢測系統(tǒng)中。OBIRCH技術(shù)利用激光束在恒定電壓下的器件表面進行掃描，通過檢測金屬互聯(lián)線缺陷處溫度累計升高引起的電阻和電流變化，來定位缺陷位置。這種技術(shù)具有迅速、通用、潔凈、簡單和靈敏等優(yōu)點，能夠快速準確地定位IC中元件的短路、布線和通孔互聯(lián)中的空洞等缺陷。
綜上所述，濱松微光顯微鏡的原理是基于半導體器件在失效或缺陷狀態(tài)下發(fā)出的微量光子進行偵測和定位。其應(yīng)用范圍廣泛，是半導體故障失效分析中的重要工具。
